BF33晶圆
本公司引进玻璃激光切割机、超声波仪器、雕刻和磨削机器等设备,同时拥有多年行业经验的技术人员,能为客户提供厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ1"的玻璃晶圆(Glass wafer),应用于CMOS、CCD传感器、集成电路或微机械元件封装(MEMS)、通信与数据处理、光学、电子产品、家电产品、军工、科研等高科技产品。
产品特点:
特种光学玻璃材料,具有出色的耐热透光性能,以及良好的化学性能
具备丰富的玻璃生产加工经验,具有符合标准的面型精度及表观质量
可定制各厚度及尺寸,厚度及尺寸公差小
符合常规的加工要求和工业标准(例如SEMI)
符合ISO 9001:2000所有要求的一体化生产流程
典型应用:
阳极键合
晶片级封装(图像传感器封装…)
生物工程(微观流体、基因测序…)
以及许多其它客户指定应用
玻璃晶圆加工参数:
a)材料:BOROFLOAT 33;
b)标准厚度:0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.21、0.3mm、0.5mm、0.55、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm、2.0mm等(厚度公差±0.02~0.05mm);
c)标准尺寸:Φ1"、Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定制);
d)外观:60/40;40/20;20/10;
e)对位方式:平边/缺口;
f)表面粗糙度(Ra)<1nm;
g)平面度<20um;
h)各棱边倒钝C0.05~0.2mm;
i)裂口<0.2mm,不可内裂;
j)表面清洁,不得有印记和污点,在洁净工作台下无尘包装,专用晶圆盒。
玻璃晶圆基本参数:
技术参数 |
|
透光率 |
>90% |
TTV/平整度 |
<10um |
Warp/弯曲度 |
<50um |
Bow/翘曲度 |
<50um |
粗糙度Ra |
<1nm |
光洁度 |
60/40;40/20;20/10 |